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激光干涉仪调光步骤及技巧

垂直度测量

   光学组件：光学直角尺一只、垂直转向镜一只、直线度干涉镜一只、直线度反射镜一只、回射反射镜一只。

   测量原理：沿着两条标称相互垂直的轴，利用一个共同的基准，激光干涉仪厂家，分别进行直线度测量，从而测量其垂直度。通常，这个共同的基准就是直线度反射镜的光学准线，在两次直线度测量期间，即不能移动（相对于工作台），也不能调整反射镜。这两次直线度测量，至少有一次是利用光学直角尺完成的。

光学器件安装：

垂直轴与水平轴之间的垂直度测量光路校准步骤（光线横向水平射出并返回）：

   一号光靶位于垂直转向镜的入光侧，二号光靶位于回射反射镜上，三号光靶位于光学直角尺入光侧中心刻度线处，请注意光靶小光孔的朝向。

   1、右进左出，芜湖激光干涉仪，调节三角架，拉直激光，近、远端对正一号光靶。近端上下、左右调节，远端扭摆、俯仰调节。

   2、将激光对准二号光靶，近端前后、左右位置调节，激光干涉仪价格，远端调节垂直转向镜的旋钮。

   3、拆除一、二号光靶，调节激光头上下、左右位置，将激光对准三号光靶，调好近、远端。

   4、安装直线度反射镜，在直线度反射镜的第二、四格分别安装好光靶，光靶上光孔的位置与光学直角尺的射出光线的位置相对应。

   5、人工去除斜率误差。

   A、由光学直角尺射出经直线度反射线返回的两条光线若不在同一法线上，需旋转主轴上安装在回射反射镜中的干涉镜进行调节。

   b、消除斜率过程中，若大范围调节直线度反射镜旋钮都无法将斜率消除，可微调激光头的扭摆和俯仰（调光时，观察在光学直角尺与直线度反射镜上的光点是否中心对称）。

双频激光干涉仪在大尺寸测量中的应用

双频激光干涉仪是精度较1高、可靠性非常好的仪器，是高精度大尺寸测量中**考虑的测量手段。

（1）双频激光干涉仪测量大尺寸轴径

双频激光干涉仪是一种增量式测长仪。在时间t内，被测长度对应的多普勒频差为计数器记得的脉冲数K。计数器计脉冲数时，需要有信号控制计数器开始计数和停止计数，激光干涉仪哪家好，此信号由准直系统提供。当准直系统对准被测轴径的测量起点时，发出一个开始计数信号；当准直系统对准被测的测量终点时，发出一个停止计数信号，计数器停止计数。所以准直系统对准的精度直接影响测量系统准确度。激光准直的工作原理为，由激光器发射出激光，经过前端望远镜系统后，发射是出一束激光束作为系统准直的基准，光电目标靶为准直系统的接收装置，常用的是硅光电探测器。